@article{Кравченко_Кравченко_Осадчук_2013, title={БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР}, volume={21}, url={https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216}, abstractNote={Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.}, number={1}, journal={Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї}, author={Кравченко, С. Ю. and Кравченко, Ю. С. and Осадчук, В. С.}, year={2013}, month={Жов}, pages={127–135} }