TY - JOUR AU - Кравченко, С. Ю. AU - Кравченко, Ю. С. AU - Осадчук, В. С. PY - 2013/10/21 Y2 - 2024/03/28 TI - БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР JF - Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї JA - Опт-ел. інф-енерг. техн. VL - 21 IS - 1 SE - Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу DO - UR - https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 SP - 127-135 AB - Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах. ER -