TY - JOUR AU - Філімонов, С. О. PY - 2013/11/13 Y2 - 2024/03/29 TI - ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ JF - Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї JA - Опт-ел. інф-енерг. техн. VL - 16 IS - 2 SE - Оптична і квантова електроніка в комп'ютерних та інтелектуальних технологіях DO - UR - https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51 SP - 126-129 AB - Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2.Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2. ER -