[1]
Осинський, В.І., Ляхова, Н.М., Масол, І.В., Грунянская, В.П., Деминский, П.В., Суховий, Н.О., Стоніс, В.В. і Глотов, В.І. 2021. НАНОКАРБІДНІ ПРОЦЕСИ ПРИ МОС-ЕПІТАКСІЇ ІІІ-НІТРИДНИХ СТРУКТУР. Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. 23, 1 (Січ 2021), 62–72.