Осинський, В. І.; Ляхова, Н. М.; Масол, І. В.; Грунянская, В. П.; Деминский, П. В.; Суховий, Н. О.; Стоніс, В. В.; Глотов, В. І. НАНОКАРБІДНІ ПРОЦЕСИ ПРИ МОС-ЕПІТАКСІЇ ІІІ-НІТРИДНИХ СТРУКТУР. Опт-ел. інф-енерг. техн. 2021, 23, 62-72.