ОСИНСЬКИЙ, В. І.; ЛЯХОВА, Н. М.; МАСОЛ, І. В.; ГРУНЯНСКАЯ, В. П.; ДЕМИНСКИЙ, П. В.; СУХОВИЙ, Н. О.; СТОНІС, В. В.; ГЛОТОВ, В. І. НАНОКАРБІДНІ ПРОЦЕСИ ПРИ МОС-ЕПІТАКСІЇ ІІІ-НІТРИДНИХ СТРУКТУР. Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї, [S. l.], v. 23, n. 1, p. 62–72, 2021. Disponível em: https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/251. Acesso em: 24 лис. 2024.