КРАВЧЕНКО, С. Ю.; КРАВЧЕНКО, Ю. С.; ОСАДЧУК, В. С. БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР. Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї, [S. l.], v. 21, n. 1, p. 127–135, 2013. Disponível em: https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216. Acesso em: 19 квіт. 2024.