Осинський ВІ, Ляхова НМ, Масол ІВ, Грунянская ВП, Деминский ПВ, Суховий НО, Стоніс ВВ, Глотов ВІ. НАНОКАРБІДНІ ПРОЦЕСИ ПРИ МОС-ЕПІТАКСІЇ ІІІ-НІТРИДНИХ СТРУКТУР. Опт-ел. інф-енерг. техн. [інтернет]. 12, Січень 2021 [цит. за 19, Квітень 2024];23(1):62-7. доступний у: https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/251