ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ

Автор(и)

  • С. О. Філімонов Черкаський державний технологічний університет

Анотація

Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2.

Біографія автора

С. О. Філімонов, Черкаський державний технологічний університет

аспірант кафедри комп’ютеризованих та інформаційних технологій у приладобудуванні

##submission.downloads##

Переглядів анотації: 147

Як цитувати

[1]
С. О. Філімонов, «ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ», Опт-ел. інф-енерг. техн., вип. 16, вип. 2, с. 126–129, Лис 2013.

Номер

Розділ

Оптична і квантова електроніка в комп'ютерних та інтелектуальних технологіях

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.