ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ

Authors

  • S. O. Filimonov Черкаський державний технологічний університет

Abstract

Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2.

Author Biography

S. O. Filimonov, Черкаський державний технологічний університет

аспірант кафедри комп’ютеризованих та інформаційних технологій у приладобудуванні

Downloads

Abstract views: 191

How to Cite

[1]
S. O. Filimonov, “ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ”, Опт-ел. інф-енерг. техн., vol. 16, no. 2, pp. 126–129, Nov. 2013.

Issue

Section

Optical and Quantum Electronics in Computer and Intellectual Technologies

Metrics

Downloads

Download data is not yet available.