ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Автор(и)

  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • А. Ю. Савицький Вінницький національний технічний університет

Анотація

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах.

Біографія автора

Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

доцент кафедри електроніки

##submission.downloads##

Переглядів анотації: 222

Як цитувати

[1]
Ю. С. Кравченко і А. Ю. Савицький, «ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ», Опт-ел. інф-енерг. техн., вип. 16, вип. 2, с. 175–181, Лис 2013.

Номер

Розділ

Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.