ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Authors

  • Yu. S. Kravchenko Вінницький національний технічний університет
  • A. Yu. Savytskyi Вінницький національний технічний університет

Abstract

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах.

Author Biography

Yu. S. Kravchenko, Вінницький національний технічний університет

доцент кафедри електроніки

Downloads

Abstract views: 230

How to Cite

[1]
Y. S. Kravchenko and A. Y. Savytskyi, “ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ”, Опт-ел. інф-енерг. техн., vol. 16, no. 2, pp. 175–181, Nov. 2013.

Issue

Vol. 16 No. 2 (2008)

Section

Optical And Optical-Electronic Sensors And Converters In Control And Environmental Monitoring Systems

Metrics

Downloads

Download data is not yet available.

License

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).