БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

Автор(и)

  • С. Ю. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • В. С. Осадчук Вінницький національний технічний університет

Анотація

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.

Біографії авторів

С. Ю. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

аспірант кафедри електроніки,

Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

к.ф.-м.н., доцент кафедри електроніки,

В. С. Осадчук, Вінницький національний технічний університет

д.т.н., професор кафедри електроніки,

##submission.downloads##

  • PDF
    Завантажень: 163
Переглядів анотації: 190

Як цитувати

[1]
С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, і В. С. Осадчук, «БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР», Опт-ел. інф-енерг. техн., вип. 21, вип. 1, с. 127–135, Жов 2013.

Номер

Том 21 № 1 (2011)

Розділ

Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Ліцензія

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають