БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

  • С. Ю. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • В. С. Осадчук Вінницький національний технічний університет

Анотація

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.

Біографії авторів

С. Ю. Кравченко, Вінницький національний технічний університет
аспірант кафедри електроніки,
Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет
к.ф.-м.н., доцент кафедри електроніки,
В. С. Осадчук, Вінницький національний технічний університет
д.т.н., професор кафедри електроніки,
Як цитувати
[1]
С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, і В. С. Осадчук, БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР, ОЕІЕТ, vol 21, № 1, с. 127-135, 1.
Розділ
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу

Найчитабильні статті цього ж автора(ів)