БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

Authors

  • S. Yu. Kravchenko Вінницький національний технічний університет
  • Yu. S. Kravchenko Вінницький національний технічний університет
  • V. S. Osadchuk Вінницький національний технічний університет

Abstract

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.

Author Biographies

S. Yu. Kravchenko, Вінницький національний технічний університет

аспірант кафедри електроніки,

Yu. S. Kravchenko, Вінницький національний технічний університет

к.ф.-м.н., доцент кафедри електроніки,

V. S. Osadchuk, Вінницький національний технічний університет

д.т.н., професор кафедри електроніки,

Downloads

Abstract views: 192

How to Cite

[1]
S. Y. Kravchenko, Y. S. Kravchenko, and V. S. Osadchuk, “БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР”, Опт-ел. інф-енерг. техн., vol. 21, no. 1, pp. 127–135, Oct. 2013.

Issue

Vol. 21 No. 1 (2011)

Section

Optical And Optical-Electronic Sensors And Converters In Control And Environmental Monitoring Systems

Metrics

Downloads

Download data is not yet available.

License

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).

Most read articles by the same author(s)